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静电放电/闩锁测试


芯片设计IC 静电放电 集成电路设计

芯片设计IC 闩锁测试 集成电路设计

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静 电 放 电 模 式

目前工业界大致定义了以下三种常见静电放电模式:

HBM人体模式:

人体模式是ESD模型中建立早和主要的模型之一, 在IC制造和使用过程中, 人体和IC接触的机会多, 由人体静电损伤造成IC失效的比例也大, 而且在实际应用中, 工业界也大多采用HBM模式来标注IC的静电等级. 人体模式指人体在地上走动、摩擦或者其他因素在人体上已积累了静电, 当此人直接接触IC时, 人体上的静电便会经IC管脚进入IC内, 再由IC 放电到地. 此放电过程会在短至几百纳秒的时间内产生数安培的瞬间放电电流, 此电流会把IC内部元件烧毁.

MM机器放电模式:

机器本身积累了静电, 当此机器接触IC时, 该静电便经过IC 管脚放电. 金属制造的机器放电等效电阻极小, 因此其放电过程更短, 在几纳秒到几十纳秒之内会有数安培的瞬间放电电流产生, 因此对元件的破坏力更大.

CDM充电元器件模式:

因摩擦或接触到其他物体的静电电荷, IC内部积累了静电, 但在静电积累的过程中IC没有受伤. 此带有静电的IC在处理过程中, 当其pin直接接地或间接接地时, 静电便会经过pin从IC的内部释放, 从而造成放电现象. 此种模式的放电时间更短, 放电上升时间小于1nS, 尖峰电流15安培, 持续时间小于10纳秒.

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静 电 放 电 测 试 方 法

I/O与VDD/VSS之间 ----------------------------------- 4 种测试组合

Pin-to-Pin ----------------------------------------------- 2 种测试组合

VDD-to-VSS -------------------------------------------- 2 种测试组合

请参阅下方: 各组合之等效电路示意图

 

静电

静电

 

 

 
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.(2011年11月5日)................................................................................